SEMI разъясняет правила и отраслевые стандарты PFAS

Поскольку глобальное внимание все больше сосредотачивается на пер- и полифторалкильных веществах (ПФАС), отрасли промышленности сталкиваются с растущими трудностями в понимании сложных нормативных требований, пороговых значений концентрации и различных определений. Этот всесторонний анализ обеспечивает ясность по этим важным вопросам.

Правила PFAS развиваются беспрецедентными темпами: от полного запрета до строгих ограничений по концентрации. Подходы к регулированию существенно различаются в разных юрисдикциях, особенно в отношении «концентрации интересов регулирования» (CRI). Некоторые правила запрещают преднамеренное добавление PFAS, тогда как другие устанавливают конкретные числовые пороговые значения.

Предлагаемые ограничения PFAS европейского регламента REACH иллюстрируют эти различия:

• Единый лимит PFAS:Ни одно вещество ПФАС не может превышать 25 частей на миллиард (измеряется посредством целевого анализа, за исключением полимерного ПФАС).
• Общий лимит PFAS:Комбинированные концентрации ПФАС (необязательно измеряемые после разложения прекурсора) не должны превышать 250 частей на миллиард (исключая полимерный ПФАС).
• Общий порог фторида:Производители должны предоставить документацию, подтверждающую содержание фторида ПФАС или не-ПАС, если общее содержание фторида превышает 50 частей на миллион.

Критически важным для понимания этих пороговых значений является понимание того, как основы расчета «концентрации» различаются в зависимости от региона. Определение «статьи» в Европе соответствует принципу Европейского суда 2015 года, рассматривающему коммерчески распространяемые компоненты как отдельные статьи. Напротив, Агентство по охране окружающей среды США определяет изделия как законченные рыночные продукты.

Несмотря на усиление контроля со стороны регулирующих органов, определения PFAS остаются противоречивыми в разных юрисдикциях, что создает дополнительные проблемы с соблюдением требований. Репрезентативные определения включают:

• Предложение ЕС REACH:Вещества, содержащие хотя бы один полностью фторированный метиловый (CF3-) или метиленовый (-CF2-) атом углерода (без присоединения H/Cl/Br/I).
• Правило отчетности Агентства по охране окружающей среды США:Химические вещества, содержащие звенья R-(CF2)-C(F)(R')R″, где CF2/CF – насыщенные углероды, а R/R'/R″≠H.
• Правила штата Мэн/Нью-Йорк:Любое органическое фторсодержащее вещество, содержащее хотя бы один полностью фторированный атом углерода.

Примечательно, что некоторые правила применяются только к определенным спискам PFAS, например, SNUR TSCA США для длинноцепочечных перфторалкилкарбоксилатов и сульфонатов.

SEMI и Ассоциация полупроводниковой промышленности (SIA) приняли всеобъемлющее определение PFAS, охватывающее все химические вещества, содержащие молекулярные единицы -CF2- и/или -CF3. Этот подход отражает приверженность отрасли комплексному управлению рисками и устойчивому развитию.

Семейство PFAS намного больше, чем принято считать. Агентство по охране окружающей среды США ведет базу данных «Список списков», содержащую более 12 000 уникальных веществ ПФАС, что позволяет предположить, что реальное применение ПФАС может охватывать даже более широкий диапазон, чем предусмотрено действующими правилами.

Точное управление PFAS требует понимания соглашений об именах фторполимеров, поскольку многие промышленные материалы используют торговые названия, а не химические обозначения. Обычные фторполимеры (все PFAS) включают:

• ECTFE (этиленхлортрифторэтилен)
• ETFE (Этилен-тетрафторэтилен)
• ФЭП (фторированный этиленпропилен)
• PCTFE/PTFCE (полихлортрифторэтилен)
• PFA (перфторалкоксиалкан)
• ПТФЭ (политетрафторэтилен)
• ПВДФ (поливинилиденфторид)
• ПВФ (поливинилфторид)

Фторэластомеры (FKM/FPM) и перфторэластомеры (FFKM/FFPM) не имеют конкретных номеров CAS, а их состав зависит от производителя. Распространение торговых названий лицензированных фторполимерных продуктов еще больше усложняет идентификацию материалов.